用于實現至高精度的測量機

ZEISS XENOS

ZEISS XENOS介紹

XENOS可在各類要求高測量精度的領域使用--從科研機構的測量實驗室、航空和航天工業直至光學工業。這一測量機的測量精度達到技術極限，其測量范圍近1立方米。

虛擬中央驅動

XENOS于Y軸向配備雙線性驅動系統，得益于蔡司的中央驅動技術可實現優異的同步控制。該技術可據X軸位置分布驅動力。

作為控制系統及算法結合，這是在整個測量范圍內獲得優異的測量精度及運動穩定性的關鍵因素。

所有軸均采用線性驅動

XENOS的所有軸均采用線性驅動。其優點:高速、加速極快、定位精度高、驅動無剪切力影響。結合超高分辨率光柵尺技術，XENOS的線性驅動可獲得高度穩定性及低于100納米的定位精度。

例如，測針偏移量越恒定，即可獲得更佳的測量精度。于測量曲面時更顯見另一優勢:測針的移動路徑與預定值越吻合，即可實現越出色的精準性。

碳化硅陶瓷

XENOS在與精度密切相關的機器部件上采用創新的碳化硅陶瓷材料。迄今為止，該材料從未在類似產品或精度的測量機器上得到使用。

與常規陶瓷相比，碳化硅陶瓷的熱膨脹性降低約50%，而剛性則可提升30%，同時減重20%。與鋼材相比，碳化硅陶瓷重量降低50%而竟仍可獲得兩倍的剛性。