SEM原位解決方案——SEM納米力測量系統(tǒng)

簡要描述：SEM原位解決方案——SEM納米力測量系統(tǒng)將納米壓痕儀集成進掃描電鏡中，使用戶可以在掃描電鏡中進行原位納米壓痕研究。

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更新時間：2025-07-11
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產(chǎn)品描述

PicoFemto NI-100 SEM納米力測量將納米壓痕儀集成進掃描電鏡中，使用戶可以在掃描電鏡中進行原位納米壓痕研究。該系統(tǒng)由一個三維壓電驅(qū)動的樣品臺和一個納米力測量探針組成。樣品安裝方式靈活多樣，可在三維納米位移臺的驅(qū)動下，達到超過5 mm的準(zhǔn)確定位，定位分辨率優(yōu)于100 nm，以使待測量區(qū)域準(zhǔn)確對準(zhǔn)力探針。

力探針同樣由壓電驅(qū)動，在軸向達到100 um的伸縮長度，位移分辨率優(yōu)于0.25mm。由力傳感器準(zhǔn)確測量所施加的力的載荷，可測拉力和壓力。并有不同的最大量程的力傳感器可選配，達到很好的測量效果。通過搭配電學(xué)、光學(xué)、加熱等模塊，該產(chǎn)品還可以實現(xiàn)包括原位力/熱耦合、力/光耦合、力/電耦合、力/熱/晶體取向耦合等多場耦合研究。